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Infrastruttura 4 – UNIPD DFA

Spoke: 9

Indirizzo: Via Marzolo 8, Padova

Partner: Università di Padova

Descrizione delle funzionalità principali

Infrastruttura per la deposizione di film sottili tramite tecniche di deposizione fisica da vapore

Tecnologie supportate

Lo strumento permette di eseguire deposizioni fisiche da vapore di film sottili: sputtering (con bias DC/RF) ed evaporazione e-beam. E’ costituito da un cluster di due camere da sputtering ed un evaporatore e-beam, interconnesse in UHV con un sistema robotizzato, Load-Lock e parking station.

Attrezzature disponibili

Cluster UHV per deposizione PVD Camere di sputtering DC/RF (×2) Evaporatore e-beam Sistema Load-Lock Sistema robotizzato di trasferimento campioni Parking station UHV

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prototipi

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