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ENEA Casaccia

Spoke: 1

Indirizzo: Via Anguillarese 301 00123 Roma

Partner: ENEA

Descrizione delle funzionalità principali

laboratori per il fotovoltaico

Tecnologie supportate

Tecnologie di realizzazione di film sottili per celle solari in silicio cristallino

Attrezzature disponibili

Forni a tubo per diffusione di droganti nel silicio (Tmax 1200°C) Forni per ossidazione di cui 1 acquistato con NEST (Tmax 1000°C) Sputtering multi sorgente (ITO, IWO, ICO, AZO) Sputtering confocale multisorgente; PECVD per film sottili di silicio amorfo, nitruro di silicio, ossido di silicio amorfo; Wet bench per trattamenti chimici di cleaning del silicio e di etching specifici: texturing; laser YAG per trattamenti localizzati di ablazione; Sistema dii laminazione per moduli fotovoltaici custom (NEST) GDOES per l’analisi composizionale di strutture multistrato; serigrafia ad alta risoluzione per realizzazione di contatti elettrici in argento per celle solari; evaporatore termico con ebeam e sputtering interno; (up-grade realizzato con NEST) piccolo evaporatore termico per evaporazioni localizzate; sistema di solforizzazione in ambiente controllato; sistemi di misura per celle solari e fotosensori: 2 banchi di misura di efficienza quantica esterna per multigiunzioni; 2 sistemi di misura di efficienza di celle solari di larga area fino a 220x220mm clean room per fotolitografia >1micron ellissometro; FTIR; fotoluminescenza; criostato; QSSPD

Come altro può supportarti questo laboratorio

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Si

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